国立研究開発法人物質・材料研究機構（以下NIMS）国際ナノアーキテクトニクス研究拠点（MANA）の吉川元起グループリーダー（現 NIMS・機能性材料研究拠点）が、故Heinrich Rohrer博士、およびスイス連邦工科大学ローザンヌ校の秋山照伸博士（現 NanoWorld AG）・Peter Vettiger博士らと共同で、2011年に開発しました。

MSSは、ナノメカニカルセンサの一種であり、従来のカンチレバー型構造では不可能であった高感度化と小型化を両立した新たなセンサ素子です。1 mm2以下の素子で、従来型と比べ約100倍の感度を実現しました。その独特な構造によって、嗅覚センサに求められる各種特性を網羅した理想的なセンサ素子となっています。

ガスを吸着させる感応膜としては、有機・無機・生体材料など、ほとんどすべての材料を利用可能であり、測定対象や測定条件に応じて、柔軟に対応可能です。すでに様々な機能性材料を用いた感応膜が300種類以上開発されており、現在も研究開発が続いています。

また、機械学習と組み合わせる事で、ニオイに含まれる特定情報の高精度定量推定（お酒のニオイからアルコール度数を推定／西洋ナシのラ・フランスのニオイから熟度（硬度）を推定）や、ポンプやバルブなどを必要とせずセンサチップだけでニオイを識別可能な究極の嗅覚センサとなる「フリーハンド測定」も実現しています。